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许多交际渠道网友关于技能发展的了解，或许停留在某某公司宣布了一个专利的水平。
假如看到某个公司宣布了一个EUV专利，就以为它快要霸占光刻机，那便是一个典型的笑话。
比方，韩国三星2024年4月12日在我国的一个专利申请揭露，其内容便是“极紫外光源”。
其实，这个专利，关键是“避免或削减发生碎屑的或许性或许磕碰的或许性”，也是经过腔体的几许方便、内部低压氢气流的循环通道来下降二氧化碳激光炮击液体Sn发生高温等离子体过程中呈现的各种碎片污染问题。
所以，同样是极紫外光源设备的我国专利，可是这篇专利并没有触及任何高功率EUV光发生器的技能。
其实，全球许多企业年年都会宣布EUV光源技能专利，我之前便介绍过台积电的EUV光源专利。这种技能更多的归于企业的专利布局的一部分，而并非其真实要做EUV光刻机的产业化。
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