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盛美上海:等离子体增强原子层堆积炉管设备经过开始验证

来源:杏彩体育靠谱吗    发布时间:2024-12-31 12:37:31
  证券时报e公司讯,盛美半导体设备(上海)股份有限公司今天在官微宣告,其2024年推出的Ultra


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  证券时报e公司讯,盛美半导体设备(上海)股份有限公司今天在官微宣告,其2024年推出的Ultra Fn A等离子增强型原子层堆积炉管设备(PEALD)已开始经过中国大陆一家半导体客户的工艺验证,正在进行最终优化和为迈入量产做准备。盛美上海还宣告,其于2022年推出的Ultra Fn A热原子层堆积炉设备(Thermal ALD)也已成功经过另一家抢先的中国大陆客户的工艺验证,性能参数比肩同类世界竞品,乃至更胜一筹。

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